DLC 成膜技術

陳克紹

DLC 成膜技術
  • 出版商: 全華圖書
  • 出版日期: 2005-09-16
  • 定價: $280
  • 售價: 9.0 折 $252
  • 語言: 繁體中文
  • ISBN: 9572149911
  • ISBN-13: 9789572149911

    • 已絕版

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商品描述

本書特色

1.由日本的二位學者及十位產業界專家共同執筆，整合學界理論與產業技術。
2.提供產業開發經驗，以利讀者在研發與製造領域上之應用。
3.介紹滑動機件、刀具、模具等應用及新成膜技術，有別於一般專業書籍。
4.本書適合大專院校之機械、材料相關科系及相關技術人員參考使用。 

本書內容

本書由日本學界與產業界共同合作編著而成並結合理論與實務。內容詳盡地介紹DLC膜基礎理論及在各領域上之應用，並對於金屬表面因鍍膜產生的特性逐一解釋，使讀者能瞭解DLC膜應用在金屬表面或其他滑動機件、刀具、模具是如何改善其機械特性。文中也引用了多個產業上應用的例子，完善地提供讀者DLC成膜技術在工業上應用的資訊。

本書目錄

第1篇　DLC成膜技術是什麼？
第1章　什麼是DLC膜1-1
1.1　DLC膜1-1
1.2　利用電漿(Plasma)能源的表面改質法及其市場動向1-3

第2章　DLC膜的特性2-1
2.1　DLC的特性2-1
2.2　期待的超低摩擦低磨耗DLC皮膜　　DLC皮膜
　的摩擦係數可以降到哪裏？2-9
2.3　DLC成膜法2-10

第3章　DLC成膜技術的工業應用與開發課題3-1
3.1　工業應用3-1
3.2　含DLC膜的複合表面改質技術3-2
3.3　為何要複合表面改質？3-5
3.4　今後的開發課題3-8
第2篇　使用DLC的應用事例
第4章　利用UBM濺鍍法製DLC膜的特性及其應用4-1
4.1　前　言4-1
4.2　UBM濺鍍法的原理與特長4-2
4.2.1　濺鍍法的概要4-2
4.2.2　UBM濺鍍法是什麼？4-2
4.3　利用UBM濺鍍裝置形成皮膜4-5
4.4　以UBM濺鍍法製DLC膜的特性及應用4-6
4.4.1　DLC膜的種類及性質4-6
4.4.2　以UBM濺鍍法製DLC膜4-7
4.4.3　DLC膜的應用4-13
4.5　結　語4-15

第5章　硬質DLC，金屬DLC，奈米碳的特徵與應用5-1
5.1　前　言5-1
5.2　DLC膜的特性5-1
5.2.1　表面形態(平滑性)與表面粗糙度5-2
5.2.2　乾式潤滑特性5-3
5.3　DLC膜的成膜方法5-4
5.3.1　硬質DLC的製法與特徵5-5
5.3.2　硬質DLC膜的模具應用5-6
5.3.3　硬質DLC膜在模具的應用5-8
5.4　金屬DLC的製法及特徵5-9
5.4.1　鎂(Mg)合金板的深抽引加工5-11
5.5　奈米碳的特徵5-13
5.6　各種DLC膜在摺動零件的應用例5-16
5.7　結　語5-17

第6章　含金屬DLC(Me-DLC)的工業應用6-1
6.1　Me-DLC6-1
6.2　Me-DLC成膜方法6-1
6.3　皮膜構造6-2
6.4　皮膜的基本性質6-3
6.5　在滑動零件的適用性6-6
6.6　加工工程6-6
6.7　應用事例6-8
6.7.1　降低傳動損失6-8
6.7.2　高壓壓縮機6-8
6.7.3　纖維切斷刀、葉片類6-9
6.7.4　對鋁滑動零件6-9
6.8　今後的問題點6-9

第7章　利用UBMS法製DLC膜的特性與用途開展7-1
7.1　前　言7-1
7.2　DLC膜的基本特性7-2
7.3　複合製程7-7
7.4　機械零組件的應用7-9
7.5　切削刀具的應用7-11
7.6　在模具的應用7-13
7.7　DLC膜的再生系統7-15
7.8　整　理7-18

第8章　在精密機械零組件中DLC膜的應用事例8-1
8.1　Citizen的DLC概要8-1
8.1.1　乾式製程的歷史8-1
8.1.2　代工鍍膜服務概要8-2
8.1.3　宣傳活動8-2
8.1.4　DLC的代表性特徵8-3
8.1.5　鍍膜規格8-3
8.1.6　附著性的評估8-4
8.1.7　成膜設備8-5
8.2　應用例8-7

第9章　可撓性DLC膜在高分子材料的應用9-1
9.1　前　言9-1
9.2　DLC的特徵9-1
9.3　DLC膜的用途開發9-4
9.4　可撓性DLC在高分子材料的適應9-5
9.5　成膜設備及處理方法9-6
9.6　評估項目及方法9-6
9.7　實驗結果9-7
9.7.1　成膜速率9-7
9.7.2　摩擦係數9-7
9.7.3　磨耗特性9-9
9.7.4　電阻特性9-10
9.7.5　撥水性9-10
9.7.6　膜硬度9-10
9.7.7　膜的表面．截面形態9-10
9.7.8　氣體阻絕性9-11
9.7.9　製品例9-12
9.8　整　理9-13

第10章　厚膜DLC的鍍膜技術10-1
10.1　前　言10-1
10.2　設備的原理與構造10-2
10.2.1　PIG-PECVD設備的構造10-2
10.2.2　電漿的安定化10-3
10.2.3　基板的偏壓方法10-7
10.2.4　DLC(Si)的鍍膜變數10-8
10.3　DLC的厚膜鍍膜技術10-10
10.3.1　成膜方法10-10
10.3.2　附著性10-13
10.3.3　添加矽的效應10-15
10.4　乾潤滑特性10-17
10.5　內面鍍膜10-19
10.6　DLC的剝離再生技術10-21
10.7　整　理10-23

第11章　利用電漿離子植入、成膜技術之DLC鍍膜11-1
11.1　前　言11-1
11.2　關於電漿離子植入技術11-2
11.3　RF．高電壓脈衝重疊式電漿離子植入．成膜法11-3
11.4　DLC膜的成膜秘訣與特性11-5
11.5　成長膜實例11-7
11.6　結　論11-9

第12章　電漿PVD、ArcIonPlating複合DLC成膜技術12-1
12.1　前　言12-1
12.2　複合表面處理的重要性12-2
12.2.1　基材的強化12-2
12.2.2　密合性改善12-2
12.2.3　皮膜特性的改善12-3
12.3　本研究所的PlasmaPVD．ArcIonPlating
　複合薄膜設備概要12-3
12.4　利用此裝置製複合DLC膜例12-5
12.5　複合DLC成膜技術今後的發展12-7

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